INFICON Gemini MPG500 3MBO-006-000 真空計技術說明

一、產品概述

二、核心測量參數

• 測量范圍：1×10?? mbar ～ 1000 mbar

• 皮拉尼測量段：大氣壓～1×10?3 mbar

• 冷陰極測量段：1×10?3 mbar～1×10?? mbar

• 重復性：±2% 讀數

• 響應速度：中真空段小于 100ms，高真空段約 1 秒

三、電氣與接口

• 供電電壓：14～30VDC

• 通訊接口：RS485

• 模擬輸出：1.15～10.215VDC 對數輸出

• 配置兩路可編程設定點繼電器輸出

• 電氣接口：8 針 FCC 接口

四、機械與環境參數

• 連接法蘭：KF25 快裝法蘭

• 腔體材質：316L 不銹鋼

• 可烘烤溫度： 250℃

• 工作環境溫度：5～60℃

• 防護等級：IP40

• 承受過壓：10bar 壓力

五、工作原理

1. 大氣壓至中真空區間，由皮拉尼傳感元件通過氣體熱傳導特性測量壓力

2. 中高真空至超高真空區間，自動切換為倒置磁控管冷陰極電離原理測量

3. 內置智能算法實現兩段量程無縫切換，全程無斷點、無盲區

4. 冷陰極結構無燈絲，不易損壞，抗污染能力更強，使用壽命更長

六、產品特點

• 單臺覆蓋超寬量程，減少多傳感器安裝與布線

• 無燈絲設計，耐沖擊、耐破大氣、不易燒毀

• 一體化結構，安裝空間小，適配各類真空腔體

• 內置溫度補償，長期工作穩定性好、漂移小

• 支持數字通訊與模擬輸出，方便接入 PLC 與控制系統

• 維護簡單，污染嚴重時可直接更換傳感單元

七、典型應用場景

• 半導體工藝設備：刻蝕、薄膜沉積、離子注入、鍵合設備

• 光學與功能鍍膜設備：PVD、CVD 真空鍍膜系統

• 工業真空爐：真空燒結、熱處理、釬焊、脫脂爐

• 科研實驗室設備：表面分析儀器、超導設備、真空試驗裝置

• 真空檢漏系統與各類高真空、超高真空系統

八、安裝與使用注意事項

• 安裝時保證法蘭密封清潔，密封圈完好無損傷

• 盡量避免油霧、粉塵、腐蝕性氣體直接進入傳感器

• 建議在進氣端加裝過濾器，延長使用壽命

• 遠離強磁場、強振動位置安裝，避免影響測量精度

• 通訊線纜采用屏蔽線并可靠接地，減少電磁干擾

• 設備出廠已校準，一般工況下無需現場頻繁校準

九、INFICON 真空計常見故障處理

• 無顯示或無輸出：檢查供電、接線及接口是否松動

• 讀數不穩定：排查腔體污染、系統泄漏、振動干擾

• 冷陰極段不工作：確認真空度已進入對應區間，檢查傳感器污染情況

• 數值漂移明顯：清潔傳感器或更換傳感單元，檢查環境溫度波動